Толковый терминологический словарь. Углеродные материалы / Сост. О.Е. Константинова. - М.: ФГУП «НИИграфит». 2010.
Осаждение металлорганических соединений из газообразной фазы — Химическое осаждение из газовой фазы с использованием металлорганических соединений (анг. Metalorganic chemical vapour deposition) метод получения материалов, в том числе эпитаксиального роста полупроводников, путём термического разложения… … Википедия
Нитрид кремния — Нитрид кремния … Википедия
газофазный синтез с конденсацией паров — Термин газофазный синтез с конденсацией паров Термин на английском gas phase synthesis with vapour condensation Синонимы метод испарения и конденсации, evaporation condensation method Аббревиатуры Связанные термины Определение метод получения… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
